Gas karbon monoksida (CO) yang banyak dihasilkan sebagai gas buang kendaraan bermotor merupakan gas beracun yang sangat berbahaya bagi manusia serta makhluk hidup lainnya. Gas ini memiliki sifat tidak berbau, tidak berwarna, dan tidak berasa sehingga sering dijuluki sebagai the silent killer, diperlukan adanya detektor yang dilengkapi dengan sensor gas CO guna mengetahui keberadaan gas tersebut baik tentang volume maupun jenisnya. Hingga saat ini terdapat 3 teknologi yang digunakan untuk memonitor keberadaan gas CO, yaitu infrared/optical (IR), electrochemical (EC), dan metal oxide (SMO). Dari analisis keunggulan maka SMO merupakan teknologi paling unggul. Oleh karena itu, penelitian dilakukan dengan tujuan untuk membuat lapisan sensitif sensor yang terbuat dari nanomaterial Indium Tin Oxide (ITO) agar mampu mendeteksi CO dengan konsentrasi dibawah 9 ppm. Dilakukan sintesis, karakterisasi, dan aplikasi terhadap ITO sebagai sensor gas CO. Penelitian ini dilakukan dari tahun 2009 sampai dengan tahun 2011. Pada tahun 2009 fokus penelitian adalah sintesis nanomaterial ITO menggunakan proses sol-gel dan karakterisasinya. Karakterisasi menggunakan alat-alat Scanning Electron Microscopy (SEM), Electron Diffraction Spectra (EDS), X-Ray Diffraction (XRD), Fourier Transform Infrared (FTIR), dan four-point-probe. Sintesis menggunakan Indium Nitride (In(NO3)3) dan Tin chloride dalam bentuk SnC14.5H2O dengan komposisi molar 90% : 10% dan 70% : 30%. Dimensi partikel dibawah 100 nm, senyawa ITO berisikan In, Sn, dan O, struktur Kristal ITO menyerupai struktur Kristal In2O3, ikatan antar molekul ITO adalah In-O-Sn dan Sn-O-Sn. Selanjutnya, periode 2010-2011 adalah melakukan rancang bangun platform divais sensor menggunakan teknologi microengineering. Divais sensor dirancang dengan resolusi minimum 50 mikron disesuaikan dengan kemampuan fotolitografi yang tersedia, selanjutnya fabrikasi divais sensor dilakukan secara microengineering dengan bahan silicon dan lapisan tipis dari platina sebagai elemen heater, elektroda, dan sensor temperatur. Berdasarkan hasil karakterisasi diperoleh bahwa sensor temperatur telah berfungsi baik yaitu nilai resistansinya berubah secara linear dengan adanya kenaikan temperatur substrat. Walapun hasil karakterisasi ITO sudah memadai, namun untuk morfologi dan kemurniannya perlu ditingkatkan dengan fokus pada temperatur kalsinasi, dan komposisi molar, serta bahan aditifyang digunakan. Perlu dilakukan pengujian unjuk kerja terhadap divais sensor apabila digunakan secara terus-menerus pada temperatur kerjanya. Diperlukan pengembangan sistem elektronik yang dapat membaca respons dari sensor secara akurat. (2011)